主動隔振臺是由電氣進(jìn)行控制，通過反向力進(jìn)行消除振動，通過傳感器進(jìn)行檢測振動的頻率，持續(xù)產(chǎn)生振動的隔離狀態(tài)，有效進(jìn)行消音作用。而被動隔振臺是由機(jī)械的裝置進(jìn)行控制，利用彈簧的彈性體進(jìn)行有效減少振動，這一系列的流程是由氣動系統(tǒng)實現(xiàn)的。
工作原理：
安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺（減振臺），以便營造適合該設(shè)備的條件。使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。它擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)有彈簧零件，主要目的是利用可變形的作用進(jìn)行吸收能量，從而減少設(shè)備上的振動，雖然效果很好，但共振放大之后就會有些嚴(yán)重；除此之外，還有橡膠材質(zhì)，跟彈簧的一樣，主要是通過變形吸收熱量，不同的是，橡膠能吸收各個方向的；就是一個氣動平臺的系統(tǒng)，通過壓縮空氣活塞來減少地面的振動。
主動隔振臺采用的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
應(yīng)用范圍：
超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
光刻工具
高精度計量工具
光譜儀器
